무엇을 해결하는가

반도체 식각·CVD의 진공펌프는 공정 가스와 그 부산물을 그대로 통과시킵니다. 염소·불산·염화알루미늄 같은 반응성 물질이 펌프 오일과 만나면 오일이 분해되거나 슬러지가 생겨 펌프 수명이 짧아지고, 산소가 짙은 배기에서는 탄화수소 오일 자체가 연료가 됩니다. 진공펌프 오일은 윤활유이기 전에, 배기 가스와 반응하지 않는 유체여야 합니다.

PCTFEHaloVac 60·100·125·190 — CAS 9002-83-9 (SDS)

PFPEHaloVac 140·250 — CAS 60164-51-4 (KF 시리즈 SDS)

인화점 없음PCTFE 오일 인화점·연소점 없음 (PDS EFO-041221)

Cl₂ · HF · AlCl₃PCTFE 오일 제조사 호환 물질 목록

02 — How It Works

어떻게 작동하는가

HaloVac은 제조사가 진공펌프 용도로 별도 설계한 라인(Precision Vacuum Pump Fluids)의 상표입니다. 두 화학 계열이 공존합니다. HaloVac 60·100·125·190은 Halocarbon PCTFE 오일 시리즈(CAS 9002-83-9)의 진공용 점도 등급으로, 제조사 PDS는 인화점·연소점이 없고 염소(Cl₂)·불산(HF)·사염화규소(SiCl₄)·삼불화붕소(BF₃)·삼불화비소(AsF₃)·염화알루미늄(AlCl₃)과 호환된다고 기재합니다. HaloVac 140·250은 PFPE(CAS 60164-51-4) 계열로 KF 시리즈와 같은 물질군입니다 — 제조사 SDS 상표명란 기준. PFPE는 고온·고진공·저증기압에, PCTFE는 산소·염소·반응성 가스 환경에 각각 강점이 있어, 우열이 아니라 배기 조건에 따른 용도 구분입니다.

PCTFE 계열 HaloVac은 상시 200°C, 150°C 초과 적용은 사전 평가가 필요합니다(PDS). 그레이드별 점도·증기압과 PFPE 계열(140·250)의 물성표는 현행 제조사 자료로 대조해 회신드리며, 확정되지 않은 값은 적지 않습니다. 진공 그리스 라인(HaloVac 25 등)은 오일과 별개로 구성돼 있고 모델마다 계열이 다르므로 개별 확인 후 안내드립니다. Krytox·Fomblin 등 PFPE 진공유를 쓰고 계시다면 HaloVac 140·250이 동일 화학계열(PFPE)이며, 같은 물건이라거나 그대로 바꿔 넣을 수 있다는 뜻은 아닙니다.

03 — Applications

어디에 쓰는가

반도체·PCB·태양전지 플라즈마 식각 및 CVD 진공펌프

염소로 알루미늄을 식각하는 라인 — AlCl₃ 생성 환경

반응성 가스 취급 설비, 전자현미경, 진공 증착 장비

제약 cGMP 건식 진공펌프 · 플라즈마 세정 장비

Halocarbon 브랜드관에서 전체 라인업 보기 →

Correspondence

조건 몇 가지만 주시면,
맞는 사양으로 회신드립니다

취급 물질·공정 조건·설치 환경을 알려주시면 모델과 사양을 검토해 회신드립니다. 현장 도면이 있으면 계층별로 비어 있는 곳까지 함께 짚어 드립니다.

sales@wholesale-k.com

HaloVac 진공펌프 오일

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어디에 쓰는가

조건 몇 가지만 주시면,맞는 사양으로 회신드립니다

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